半導(dǎo)體專用顯微鏡的原理主要基于光學(xué)和電子顯微鏡的原理。主要利用聚焦光束之間的衍射、反射和散射等光學(xué)效應(yīng)，通過(guò)觀察探測(cè)光束的強(qiáng)度、波長(zhǎng)和偏振等特性，反映出被研究材料的微觀結(jié)構(gòu)和性質(zhì)。同時(shí)，某些半導(dǎo)體顯微鏡還具有元素分析的能力，如能譜分析和能譜成像。
一般來(lái)說(shuō)，半導(dǎo)體顯微鏡可以分為光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡兩類。光學(xué)顯微鏡通常使用白光、激光等光源產(chǎn)生的光束來(lái)照射樣品表面，而電子顯微鏡則利用了高能電子束代替光束，并通過(guò)聚焦和干涉處理來(lái)提高其分辨率和靈敏度。
半導(dǎo)體專用顯微鏡的校準(zhǔn)：
1.將一半導(dǎo)體顯微鏡物鏡安裝好，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺放在工作臺(tái)上并壓緊。
2.旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋鈕，將焦點(diǎn)調(diào)整在測(cè)微尺的中間，視場(chǎng)中心成像清晰。此時(shí)將千分表測(cè)頭與工作臺(tái)表面相接觸并對(duì)好表的零位。
3.再次旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋轉(zhuǎn)，把焦點(diǎn)調(diào)整到測(cè)微尺的邊緣，使視場(chǎng)邊緣成像清晰。半導(dǎo)體顯微鏡觀察千分表，其最大偏移量即為該物鏡的場(chǎng)曲誤差。
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